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因?yàn)樗姆己退姆缍际枪矁r(jià)化合物，然而碳氟鍵的鍵能遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于硅氟鍵的鍵能，鍵長也是前者短得多，所以四氟化碳的熱穩(wěn)定性更好。相對分子量88.00。在常溫下，四氟化碳是無色、無臭、不燃的易壓縮性氣體，揮發(fā)性較高，是穩(wěn)定的有機(jī)化合物之一，不易溶于水。四氟化碳亦稱全氟化碳、四氟甲1烷、全氟化碳，為非腐蝕性氣體，所有通用材料如鋼、不銹鋼、銅、青銅，四氟化碳多少錢，鋁等金屬材料都可以使用。
四氟化碳物理性質(zhì) :
熔點(diǎn)-183.6℃，
分子式是CF4，
沸點(diǎn)-128.1℃，長沙四氟化碳，
液體密度(-130℃)1.613g/cm3，
液體折光率(-173℃)1.515，
固體轉(zhuǎn)變點(diǎn)72.2K，
臨界溫度-45.67℃，
臨界壓力3.73MPa，四氟化碳批發(fā)，
蒸氣壓（-150.7℃）13.33kPa
介電常數(shù)（25℃，0.5MPa）1.0006
臨界密度：7.1dm3/mol
標(biāo)準(zhǔn)摩爾自由能：-929.84 kJ/mol
標(biāo)準(zhǔn)摩爾生成自由能：-887.41 kJ/mol
危險(xiǎn)性類別：第2.2類不燃?xì)怏w
四氟化碳貯存注意事項(xiàng)：氣瓶使用和檢驗(yàn)遵照《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》的規(guī)定。氣瓶內(nèi)的氣體不能全部用盡，應(yīng)該留不小于0.04MPa剩余壓力。四氟化碳對于硅和二氧化硅體系，采用CF4-H2反應(yīng)離子刻蝕時(shí)，通過調(diào)節(jié)兩種氣體的比例，可以獲得45：1的選擇性，四氟化碳價(jià)格，這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅薄膜時(shí)很有用。四氟化碳是當(dāng)前微電子工業(yè)中應(yīng)用量高的等離子體蝕刻氣體，被廣泛應(yīng)用在硅、氮化硅、磷硅玻璃等薄膜材料的蝕刻。除此之外，四氟化碳還能在電子電器表面清洗、激光、低溫制冷、太陽能電池等領(lǐng)域有著應(yīng)用。
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第8年
